Theo mục tiêu "carbon kép", các nguồn năng lượng tái tạo như năng lượng mặt trời ngày càng nhận được nhiều sự quan tâm hơn. Với sự cạnh tranh và phát triển của chính ngành công nghiệp quang điện, nhu cầu về quy trình sản xuất tấm wafer silicon và thiết bị thử nghiệm tiếp tục tăng lên.

 

Máy phân loại tấm wafer silicon là một thiết bị không thể thiếu trong ngành quang điện. Nó chủ yếu được sử dụng để phát hiện các khuyết tật về kích thước hình học và hình thức (vát cạnh, sứt mẻ, bụi bẩn, vết nứt, v.v.) của tấm wafer silicon để phân loại hoàn toàn tự động. áp dụng hệ thống này để thay thế các phương pháp kiểm tra thủ công trước đây, giúp cải thiện đáng kể hiệu quả phát hiện và đáp ứng đầy đủ các yêu cầu về chất lượng của các nhà sản xuất tấm silicon. Nó cũng làm giảm chi phí kiểm soát chất lượng tổng thể của công ty và các công ty hạ nguồn, đồng thời cải thiện hiệu suất của khách hàng trong ngành. sức cạnh tranh của ngành.

 

Trong số này, chúng tôi sẽ chia sẻ giải pháp cảm biến thông minh của AKUENSE dành cho máy phân loại tấm bán dẫn silicon;

 

Máy phát hiện và phân loại tấm tế bào quang điện có thể được chia thành bốn cơ chế: cơ chế truyền ngược, cơ chế lấy nguồn cấp dữ liệu kép, cơ chế đặt tấm tế bào lấy và cơ chế truyền hộp cấp liệu hai mặt.

 

 

01 Tải cánh tay robot

Cảm biến quang điện PTE-TEM10NR

 

Kịch bản ứng dụng:

Cảm biến định vị chip silicon. Khi mảnh cực cảm biến được đặt đúng vị trí, bước tiếp theo sẽ được kích hoạt.

 

 

Khó khăn phát hiện:

1. Yêu cầu cảm biến sẽ không bị ảnh hưởng bởi độ phản xạ cao của tấm wafer silicon.

2. Gần trạm làm việc có một động cơ bước, động cơ này sẽ tạo ra trường điện từ trong quá trình làm việc và gây nhiễu cho cảm biến.

3. Cảm biến bắt buộc phải có thiết kế chống rung

 

 

giải pháp:

1. Sử dụng cảm biến quang điện xuyên tia dòng PTE-TEM10NR, với khoảng cách phát hiện là 1 mét, độ nhạy có thể điều chỉnh, dễ dàng cài đặt và gỡ lỗi.

2. Sản phẩm sử dụng nguồn sáng chất lượng cao và có khả năng chống nhiễu ánh sáng mạnh.

3. Mạch bên trong được thiết kế theo công nghệ chính xác, có khả năng chống nhiễu điện từ mạnh mà vẫn có thể hoạt động ổn định trong một trường điện từ xoay chiều nhất định.

4. Vỏ là thiết kế tích hợp ép phun, có khả năng chống rung lên đến 50Hz (biên độ 0,5mm) và hiệu suất vượt trội.

 

 

02 Tấm wafer silicon đã được đặt đúng chỗ

CQ07-10NO tiệm cận điện dung phẳng

 

Kịch bản ứng dụng:

Cảm biến phát hiện tấm wafer silicon trên dây chuyền lắp ráp. Khi phát hiện tấm wafer silicon đã vào đúng vị trí, cảm biến sẽ gửi tín hiệu để điều khiển động cơ vận chuyển.

Yêu cầu cảm biến sẽ không bị ảnh hưởng bởi sự dao động lên xuống của dòng tinh giản và khoảng cách phát hiện có thể được điều chỉnh bất cứ lúc nào; phát hiện liên lạc.

 

giải pháp:

1. Sử dụng dòng cảm biến tiệm cận điện dung hình phẳng CQ07, không dễ bị ảnh hưởng bởi vật liệu phát hiện (trừ vật liệu cách điện). Hằng số điện môi của vật liệu phát hiện càng lớn thì khoảng cách phát hiện càng xa.

2. Khoảng cách phát hiện 10 mm, độ nhạy có thể điều chỉnh theo nhiều lượt

3. Cảm biến chỉ dày 7mm và có các lỗ gắn hình thắt lưng để lắp đặt dễ dàng.

 

03 Phát hiện wafer silicon đơn và đôi

Cảm biến siêu âm MUD-60N-18-GL

 

Kịch bản ứng dụng:

Trong quá trình truyền các tấm quang điện, cần sử dụng cảm biến để phát hiện xem có nhiều tấm vật liệu hay không. Khi các sản phẩm được xếp chồng lên nhau hoặc trống, cần đưa ra tín hiệu tương ứng và cơ chế sẽ loại bỏ các vật liệu xếp chồng lên nhau hoặc vật liệu rỗng. mà không tiến hành bước tiếp theo.

1. Cảm biến cần phải tương thích với nhu cầu phát hiện tấm wafer silicon có độ dày khác nhau.

2. Đường dây truyền tải quay 1.200 lần mỗi giây, điều này đòi hỏi cảm biến phải có khả năng phát hiện ổn định trong tình huống vận hành tốc độ cao hiện tại.

 

giải pháp:

1. Cảm biến siêu âm dòng MUD có thể được sử dụng để phát hiện các vật liệu rỗng và các tấm vật liệu đơn và đôi. Ba chế độ phát hiện có thể điều chỉnh và có chức năng học và dạy. Chúng có thể được gỡ lỗi nhanh chóng để thích ứng với việc phát hiện các thông số kỹ thuật khác nhau của vật liệu. địa điểm.

2. Khoảng cách phát hiện có thể lên tới 60mm. Ngay cả khi có sự khác biệt nhất định về vị trí của vật liệu và độ giật, nó sẽ không ảnh hưởng đến hiệu ứng phát hiện thực tế.

3. Cảm biến hỗ trợ việc dạy nhảy và việc dạy có thể được hoàn thành với các cài đặt đơn giản, thuận tiện và nhanh chóng.

4. Sử dụng thuật toán phát hiện tần số cao, thời gian đáp ứng có thể lên tới 6,5 ms, có thể nhận ra khả năng phát hiện tần số cao

 

04 Phát hiện 2D các khuyết tật bề mặt/sứt mẻ của wafer silicon

Giải pháp trực quan phi tiêu chuẩn AKUENSE

 

Kịch bản ứng dụng:

1. Phạm vi trường thị giác cần khoảng 100-150mm; độ chính xác phát hiện yêu cầu khoảng 0,2mm và mọi thứ mà mắt người có thể nhìn thấy phải được phát hiện

2. Khoảng cách làm việc phải trong khoảng 400mm và không chiếm quá nhiều không gian.

3. Chức năng phát hiện yêu cầu đầu ra của giao tiếp IO và cổng nối tiếp, đồng thời tạo báo cáo hồ sơ sản xuất, yêu cầu thao tác đơn giản.

4. Nhịp phát hiện yêu cầu 0,1 giây trở xuống.

 

giải pháp:

Thị giác máy là tính năng chính trong máy phân loại tấm bán dẫn silicon. Để cải thiện độ chính xác và hiệu quả phát hiện của máy phân loại tấm bán dẫn silicon, nguồn ánh sáng chất lượng cao, máy ảnh chuyên nghiệp và giải pháp thuật toán chính xác được sử dụng để giúp các nhà sản xuất thiết bị kiểm soát toàn diện chất lượng tấm bán dẫn silicon. .

 

1. Đạt yêu cầu về độ chính xác 0,15 ± 0,05mm

2. Khoảng cách làm việc 300mm, chiếm không gian nhỏ

3. Tích hợp ưu điểm của thuật toán AI và kiểm tra trực quan truyền thống để đạt được những đột phá mới trong kiểm tra trực quan

4. Khả năng xử lý hình ảnh và song song siêu mô hình cũng như khả năng thuật toán thị giác máy hàng đầu trong ngành

5. Một nhóm thuật toán phần mềm mạnh mẽ có thể phát triển theo nhu cầu tùy chỉnh của khách hàng

6. Đội ngũ dịch vụ kỹ thuật chuyên nghiệp để giải quyết các vấn đề kỹ thuật khác nhau

 

05 Phát hiện độ phẳng/độ dày của tấm wafer silicon

Cảm biến laser dòng dòng ESX

 

Kịch bản ứng dụng:

1. Đo độ dày của tấm silicon, độ chính xác là dữ liệu tĩnh của camera đơn ≤ 0,2um

2. Đo độ cong vênh của tấm silicon

3. Laser quét dòng hỗ trợ các phương pháp kích hoạt bộ mã hóa và điều khiển bên ngoài IO

 

giải pháp:

1. Nó có thể đạt được độ chính xác lặp lại lên tới 0,1μm, đáp ứng đầy đủ các tình huống phát hiện hiện tại.

2. Sản phẩm này được thiết kế đặc biệt cho ngành quang điện. Nó sử dụng các nguồn sáng nhập khẩu và thuật toán thích ứng lượng ánh sáng để đạt được phép đo có độ chính xác cao.

3. Sản phẩm đã vượt qua các thử nghiệm nhiệt độ cao và thấp, độ rung, va đập và các thử nghiệm khác trước khi rời khỏi nhà máy để đáp ứng hầu hết các tình huống ứng dụng công nghiệp. Giao diện công nghiệp thường được sử dụng

(Cổng nối tiếp, bộ mã hóa, đầu ra analog, v.v.) có thể được kết nối trực tiếp từ đầu dò, dễ tích hợp

 

06 Bảo vệ an ninh khu vực

Màn chắn sáng an toàn BZL20-T1606NC

 

Kịch bản ứng dụng:

Để ngăn chặn con người vô tình đi vào khu vực làm việc của thiết bị và gây thương tích khi robot nắm vào các tấm silicon, thời gian phản hồi phải dưới 15ms và khả năng phát hiện ổn định.

 

giải pháp:

1. Sử dụng màn sáng siêu mỏng dòng BZL, chỉ dày bằng một nửa so với màn sáng thông thường, mang lại không gian hoạt động lớn hơn cho thiết bị.

2. Tốc độ phản hồi ở mức mili giây, hiệu quả và nhạy cảm

3. Nhiều lựa chọn, khoảng cách trục quang 10/14/20/25/30/40mm, đèn trước và đèn bên tùy chọn, cải thiện đáng kể sự tiện lợi của thiết kế thiết bị

Xu hướng cải cách năng lượng là bắt buộc. AKUENSE cam kết thúc đẩy làn sóng nâng cấp thông minh trong ngành quang điện, kết hợp lợi thế của mình với nhu cầu chuyên sâu của ngành, liên tục lặp lại các chức năng của sản phẩm và khả năng giải pháp, đồng thời hỗ trợ nâng cấp thông minh của ngành. ngành công nghiệp quang điện.