Nếu so sánh con chip với tác phẩm khắc phẳng thì máy quang khắc là bàn chải để phác thảo; máy khắc là dao khắc và màng lắng đọng là vật liệu dùng để khắc. Độ chính xác của quang khắc trực tiếp xác định kích thước của các thành phần, trong khi độ chính xác của quá trình khắc và lắng đọng màng mỏng quyết định liệu kích thước của quang khắc có thể được xử lý thực sự hay không, do đó, thiết bị quang khắc, khắc và lắng đọng màng mỏng là quan trọng nhất trong quá trình xử lý chip. Ba loại thiết bị chính chiếm gần 70% số thiết bị tiền tuyến.

Trong những năm gần đây, nước ta đã bắt đầu tiến hành nghiên cứu và phát triển bắt kịp nhiều loại thiết bị. Trong số những thiết bị chính khó khăn nhất về mặt kỹ thuật, máy khắc đang đi đầu trong việc thay thế trong nước. Hôm nay Xiao Ming sẽ chia sẻ giải pháp ứng dụng cảm biến trên thiết bị khắc bán dẫn.

01 Quản lý ID nhà mạng

Đầu đọc mã thông minh RCD-AI100-S

Bằng cách tự động đọc nhãn mã vạch phổ quát được gắn vào hộp FOUP ở đầu nạp, có thể dễ dàng đạt được việc quản lý chính xác từng điểm và có thể giảm chi phí. Thuật toán này rất mạnh mẽ và có thể đọc nhiều mã vạch cùng một lúc.

02 Kiểm tra xem có chip phía trên không

Cảm biến sợi quang PG1+PT-32-DQ

Phát hiện sự hiện diện của chip trên cùng để xác định xem nó đã đầy hay chưa. Trong cấu trúc máy trạm nhỏ, bạn cần chọn sợi quang mỏng để thuận tiện cho việc lắp đặt. Nguyên lý xuyên chùm giúp khả năng phát hiện ổn định hơn. thực hiện phát hiện tốc độ cực cao 13us.

03 Kiểm soát mức chất lỏng hóa chất

Cảm biến mức chất lỏng CE30-26NO

Khi có bong bóng trong đường ống, việc sử dụng cảm biến quang học có thể gây ra đánh giá sai. Do đó, có thể sử dụng cảm biến tiệm cận điện dung chuyên dụng để phát hiện mức chất lỏng trong đường ống. Ngay cả khi bong bóng được tạo ra trong đường ống, việc phát hiện có thể ổn định và không xảy ra. bị ảnh hưởng bởi màu sắc và mật độ của chất lỏng, việc phát hiện không tiếp xúc cũng loại bỏ việc cảm biến cần phải xem xét các hóa chất phản ứng với cảm biến.

04 Định vị mục tiêu và đo khoảng cách

Cảm biến dịch chuyển laser MLD23-100N

Máy trạm này cần đo chính xác chiều cao của từng tấm wafer trong thời gian thực. Cảm biến dịch chuyển laser của Meiji có phạm vi phát hiện lớn từ 65-135mm, có thể theo dõi mọi vị trí của tấm wafer trong thời gian thực, với độ chính xác 0,01mm. chức năng có thể được dạy dễ dàng, cải thiện Cải thiện sự tiện lợi của việc gỡ lỗi.