Với sự phổ biến toàn cầu của các mục tiêu trung hòa carbon, công suất lắp đặt quang điện đang tăng lên nhanh chóng. Là nhà cung cấp quan trọng các sản phẩm quang điện, các nhà sản xuất mô-đun quang điện trong nước có mong muốn mở rộng sản xuất và đơn đặt hàng mua thiết bị đang bùng nổ. Theo xu hướng lặp lại nhanh chóng của công nghệ pin, việc nâng cấp công nghệ năng lực sản xuất cũng trở thành chiến trường chính để các doanh nghiệp khám phá giá trị. Các công nghệ loại N được đại diện bởi dị vòng, TOPcon và IBC lần lượt xuất hiện trên sân khấu, và thiết bị quang điện cũng đã mở ra một làn sóng thay thế.

 

Việc lựa chọn và ứng dụng cảm biến cũng là công cụ đắc lực để các nhà sản xuất thiết bị nâng cao khả năng cạnh tranh khi sản xuất có nhu cầu nâng cấp nên các giải pháp cảm biến cũng không ngừng được nâng cấp. Hiện tại, Meiji đã liên tục chia sẻ với các bạn các giải pháp về thiết bị quang điện như máy sắp chữ quang điện và thiết bị truyền động giỏ hoa, đồng thời lần lượt tiết lộ công nghệ nâng cấp cảm biến của các xưởng sản xuất công nghiệp quang điện. Trong số này, chúng tôi sẽ tiếp tục chia sẻ với các bạn. thiết bị quang điện—— Giải pháp ứng dụng cảm biến cho quá trình oxy hóa.

 

 

Quá trình oxy hóa là một quá trình trong đó tấm wafer silicon được đặt trong môi trường có các chất oxy hóa như oxy hoặc hơi nước để xử lý nhiệt ở nhiệt độ cao và phản ứng hóa học xảy ra trên bề mặt của tấm wafer silicon để tạo thành màng oxit.

 

01 Vận chuyển vật liệu đầu cuối và tránh chướng ngại vật

Radar tránh chướng ngại vật laser dòng AS-33C

 

Yêu cầu kịch bản:

Trạm này nằm trong quá trình vận chuyển đầu cuối của quá trình oxy hóa wafer silicon. Radar laser được lắp đặt trên xe đẩy AGV để vận chuyển giỏ hoa wafer silicon đến khu vực nạp của máy sau quá trình oxy hóa. ở phía trước và phía sau để tránh chướng ngại vật. Cần phát hiện vật thể trong phạm vi 2 mét. Chướng ngại vật yêu cầu tốc độ phản hồi trong vòng 80ms.

 

Khó khăn của dự án:

1. Môi trường nhà xưởng tương đối phức tạp nên thiết bị cần phải thích ứng với các tình huống làm việc trong đó con người và máy móc kết hợp với nhau cũng như nhiều phương tiện kết hợp.

2. Cần có chức năng tự kiểm tra và cảnh báo bất thường của thiết bị.

 

giải pháp:

1. Dòng Meiji AS-33C là radar laser tránh chướng ngại vật, áp dụng nguyên lý đo TOF và có hiệu suất tránh chướng ngại vật ổn định; 3 khu vực tránh chướng ngại vật được thiết lập để đáp ứng ba trạng thái xe đang chạy, giảm tốc và dừng, đồng thời độ chính xác phát hiện là &+mn;2cm

2. Nó có thể đo chính xác phạm vi 270° và lắp đặt một cái ở phía trước và phía sau xe AGV để thiết bị có thể tránh chướng ngại vật và không có điểm mù.

3. Nó có chức năng tự kiểm tra, có thể phát hiện xem hiệu suất của lidar có bất thường hay không, nhằm tránh những hậu quả bất lợi do thiết bị vẫn hoạt động dù gặp sự cố không mong muốn.

 

 

02 Cảm biến cửa bảo vệ

Cảm biến tiệm cận TQN18 series

 

Yêu cầu kịch bản:

Một cảm biến cần được lắp đặt trên cửa bảo vệ để phát hiện xem cửa có được đóng chặt hay không. Khoảng cách phát hiện bắt buộc là 7,5mm và độ lặp lại phát hiện là trong vòng 0,1mm.

 

giải pháp:

1. Đó là một cách tiếp cận hình vuông cảm ứng nhúng, lỗ gắn hình thắt lưng, dễ lắp đặt.

2. Khoảng cách phát hiện tối đa là 8mm và được cài đặt bằng ren M18 để tiết kiệm không gian.

 

 

03 Bảo vệ an ninh khu vực

Màn chắn sáng an toàn dòng BKL

 

Yêu cầu kịch bản:

Để ngăn chặn con người vô tình đi vào khu vực làm việc của thiết bị và gây thương tích khi robot nắm vào các tấm silicon, thời gian phản hồi phải nhỏ hơn 20ms và khả năng phát hiện ổn định.

 

giải pháp:

1. Sử dụng dòng BKL rèm sáng tiết kiệm, có nhiều khoảng cách trục quang và số trục quang để lựa chọn, bao gồm 10mm, 20mm và 40mm. Cơ thể con người cần được bảo vệ ở đây. Chúng tôi khuyên bạn nên chọn khoảng cách trục quang 40mm. .

2. Thời gian phản hồi nhanh, dưới 10ms. Khi cơ thể con người đi vào, nó sẽ ngay lập tức gửi tín hiệu để điều khiển máy tạm dừng, từ đó bảo vệ cơ thể con người.

3. Khả năng chống nhiễu ánh sáng mạnh, có thể chịu được nhiễu lên tới 10.000lux và không bị ảnh hưởng bởi ánh sáng đi lạc khác tại chỗ

 

 

04 Robot cảm biến lấy tấm wafer silicon

 

Cảm biến quang điện triệt tiêu nền Dòng ESB-S10

 

Yêu cầu kịch bản:

Trạm này nằm ở giữa quá trình oxy hóa tấm silicon. Nó cần lắp đặt một cảm biến để phát hiện xem robot đã nắm được tấm wafer silicon hay chưa để bước vào quy trình tiếp theo. Việc phát hiện cần phải ổn định và khoảng cách phát hiện là. 50mm.

 

giải pháp:

1. Lắp đặt ba cảm biến quang điện triệt tiêu nền dòng ESB-S10 trên bộ điều khiển, chúng không bị ảnh hưởng bởi màu nền và có thể phát hiện ổn định các vật liệu có bất kỳ màu nào.

2. Khoảng cách phát hiện là 5-100mm, có thể đáp ứng nhu cầu

 

 

05 Kiểm soát chiều cao ngăn xếp wafer silicon

Dòng quang điện loại ESB-B30 loại triệt nền

 

Yêu cầu kịch bản:

Trạm này nằm trong quá trình oxy hóa tấm silicon. Nó tiếp nhận các vật liệu được vận chuyển bởi robot. Có các yêu cầu về chiều cao xếp chồng của các tấm silicon. Nó cần dừng xếp chồng sau khi các vật liệu được xếp chồng lên nhau đến một độ cao xác định. Khoảng cách phát hiện là 250mm. . Nó có đèn LED và ánh sáng xung quanh mạnh. Nó gây nhiễu cho cảm biến và yêu cầu thời gian phản hồi dưới 1ms. Ngoài ra, khách hàng có yêu cầu cao về độ chính xác phát hiện và đồng thời yêu cầu độ lặp lại dưới 0,5mm. , thiết bị này cũng sẽ sản xuất nhiều loại tấm silicon, cần một cảm biến để tương thích với tất cả các sản phẩm.

 

Khó khăn của dự án:

Có những yêu cầu cao đối với khả năng chống nhiễu ánh sáng của cảm biến và nó cần có khả năng chịu được cả độ phản xạ cao của chip silicon và nhiễu từ ánh sáng mạnh xung quanh.

 

giải pháp:

1. Hai cảm biến quang điện triệt tiêu nền Dòng ESB-B30N được lắp đặt song song trên và dưới chiều cao giới hạn xếp chồng tấm bán dẫn silicon. Chúng không bị ảnh hưởng bởi màu nền và có thể đảm bảo khả năng tương thích phát hiện của nhiều loại tấm bán dẫn silicon.

2. Khoảng cách phát hiện cảm biến có thể đạt tới 250mm, có thể đáp ứng nhu cầu của khách hàng trong trường hợp này. Khoảng cách phát hiện được điều chỉnh thông qua núm trên cùng, giúp việc cài đặt và gỡ lỗi trở nên dễ dàng.

3. Thời gian phản hồi dưới 1ms, có thể đảm bảo phát hiện ổn định đồng thời đảm bảo hiệu quả phát hiện điểm sáng nhỏ và độ chính xác phát hiện cao.

4. Khả năng chống nhiễu ánh sáng mạnh, tiếp xúc với ánh sáng mặt trời có thể đạt tới 10000lux, tiếp xúc với đèn sợi đốt có thể đạt tới 3000lux, khả năng chống nhiễu ánh sáng đi lạc mạnh mẽ, không bị ảnh hưởng bởi bề mặt sàn dưới tay máy, bề mặt kim loại của thiết bị, bề mặt kính của cửa ra vào và cửa sổ và các môi trường khác và silicon Giao thoa phản xạ

5. Các cảm biến có thể được lắp đặt cạnh nhau ở khoảng cách bằng 0 và sẽ không có hiện tượng nhiễu lẫn nhau khi lắp đặt cạnh nhau ở khoảng cách gần.